酸化インジウムスズ（さんかインジウムスズ、tin-doped indium oxide、ITO）は酸化インジウム(III) (In<sub>2</sub>O<sub>3</sub>) と酸化スズ(IV) (SnO<sub>2</sub>) の無機化合物である。粉末は黄色～灰色であるが、可視光領域の透過率が高いため、薄膜ではほぼ無色透明である。実用上、重量比9:1程度で用いられることが多い。ITOの特徴は電気伝導性と透明性である。蒸着成膜することで電荷密度が向上し導電性も向上する傾向にあるが、その一方で透明性が低下してしまう。ITOの薄膜は主に電子ビーム蒸着......
酸化インジウムスズ（さんかインジウムスズ、tin-doped indium oxide、ITO）は酸化インジウム(III) (In<sub>2</sub>O<sub>3</sub>) と酸化スズ(IV) (SnO<sub>2</sub>) の無機化合物である。粉末は黄色～灰色であるが、可視光領域の透過率が高いため、薄膜ではほぼ無色透明である。実用上、重量比9:1程度で用いられるこ......
