ホスフィン (phosphine) は分子式 PH<sub>3</sub> で表される無機化合物。リン化水素(リンかすいそ、hydrogen phosphide)、水素化リン (phosphorus hydride)とも呼ばれる。IUPAC組織名はホスファン (phosphane) である。「ホスフィン」は PH<sub>3</sub> を母化合物とする有機化合物 R<sub>3</sub>P の総称でもある。ホスフィンは半導体製造のドーピングガスの原料であり、ケイ素をn形にする場合や、InGaP(インジウムガリウムリン)などといった半導体を製造するときに......
ホスフィン (phosphine) は分子式 PH<sub>3</sub> で表される無機化合物。リン化水素(リンかすいそ、hydrogen phosphide)、水素化リン (phosphorus hydride)とも呼ばれる。IUPAC組織名はホスファン (phosphane) である。「ホスフィン」は PH<sub>3</sub> を母化合物とする有機化合物 R<sub>3......